4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手

4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手

4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手特点： 

防水4轴圆柱坐标型机械手STWCR4000系列（配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）

能够在酸性，碱性雾气环境下搬运半导体晶圆

机械手臂标准臂长：160 mm、200 mm

手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

防水4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数：

使用环境                 洁净间内的大气环境

手臂                       双臂

到达距离                 315mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴最大行程       300mm

可搬运质量              3kg (手臂第3关节处基准)

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