冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B

冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B_Back grinding

冈本OKAMOTO GNX200B全自动晶圆背面减薄机研磨机特点：

研削加工技术：日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

机械精度的调整方法：通过主轴进行调整，因为可进行原点定位，所以精度调整相当容易；可2处调节。

标准驱动方式：齿轴+定位销进行定位，长年使用也不会发生位移。

标准润滑方式：润滑油及防护罩，防止进入异物造成磨损。

设备刚性：高刚性，不会因老化造成精度变化，部件由冈本自产铸金一体化生产。

全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B规格：

规格                     GNX200B     

最大加工直径     Ф200    

轴承旋转数     0~3600min-1

轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P

轴承进给速率     1~999μm/min

主轴数                     2

工作轴旋转数     1~300min-1

轴承尺寸（外径）          Ф250    

质量                     3900mm   

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