（防水）3轴晶圆搬运机械手臂

（防水）3轴晶圆搬运机械手臂

——配备晶圆翻转机构+边缘夹持机构

（防水）3轴晶圆搬运机械手臂特点： 

防水3轴晶圆搬运机械手臂SWCR3000系列

在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆

手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，搬运半导体晶圆

晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指

3轴晶圆搬运机械手基本参数：

使用环境                         洁净间内的大气环境

手臂                               单臂

到达距离                         312mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴MAX行程              200mm / 300mm

可搬运质量                     3kg以下 (手臂第3关节处基准)

了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/

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