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okamoto晶圆减薄机GNX200B

收藏 2021-09-10

GNX200B.jpg

okamoto晶圆减薄机GNX200B

okamoto晶圆减薄机GNX200B是向下进给式全自动硅片减薄设备,机械搬送臂。






okamoto晶圆减薄机GNX200B规格:

规格                  GNX200B

MAX加工直径 Ф200mm

主轴转速范围 0~3600rpm

主轴驱动电机功率 2.2/4 Kw/P

主轴进给速度范围 1~999μm/min

主轴数                 2

工作盘转速范围 1~300rpm

研磨轮尺寸 Ф250mm

设备整重                 3900kg




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